MATERIALS

Implant / Doping Gas 離子植入 特氣

半導體製程 離子植入 / 混和 使用之特殊氣體
Implant / Doping Gas

產品規格


Implant / Doping Gas
Product中文Spec.
BF3三氟化硼5N
B2H6 Mix乙硼烷混氣4N
TMB Mix四甲基聯苯胺混氣3N/6N
PH3 Mix磷化氫混氣6N/6N


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