MATERIALS

特殊氣體

Etching / Cleaning Gas 蝕刻/潔淨 特氣

HCl 氯化氫

CVD / Diffusion Gas 沉積 / 擴散 特氣

Implant / Doping Gas 離子植入 特氣

Excimer Laser Gas 鐳射混合 特氣

CVD/ALD Precursor 前驅材料